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要想了解關(guān)于激光干涉儀更多的,看這里!
更新時間:2023-06-28   點擊次數(shù):595次
  激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。隨著激光干涉儀測量技術(shù)的不斷提高,測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛,特別是在測量數(shù)控機床位置精度方面用途最為廣泛。其主要在:線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
  采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計,將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開,從而避免了干涉鏡受熱變形,用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連,從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后,使得干涉鏡不受影響,保證了測量準確性。
  激光干涉儀的主要功能:
  1、可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
  2、可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
  3、可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量;
  4、可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;
  5、可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
  6、具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
  7、支持手動或自動進行環(huán)境補償。
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